一、引言（学xi蓝宝石衬底的用意及用处）近二十年来，氮化镓基发光二极管取得了飞跃式发展，并实现了大规模的产业化生产。氮化镓基发光二极管由于其高效、节能、环保等优越性能，将取代现有的白炽灯、荧光灯、卤化灯等而成为主流的固态照明工具。然而，同质外延生长所需的高质量GaN衬底的价格昂贵且远不能满足大规模生产的需求。现有的外延衬底大部分仍是蓝宝石，由于蓝宝石与GaN材料存在晶各失配和热失陪等缺点，这阻碍了GaN晶体质量的提高，从而导致了GaN的发光器件性能的进一步提高。大量研究表明，图形化蓝宝石衬底有利于降低晶体的位错密度和应力释放，从而大大改善GaN晶体的质量和GaN的发光器件性能。二、蓝宝石衬底的常规清洗方法在正常的室温下，有机溶剂超声清洗，以及加热条件下，丙tong浸泡。实施本发明的蓝宝石衬底清洗方法，取消了传统清洗方法中使用的三氯乙烯shi ji ，减少了环境污染，避免人员中毒，在清洗过程中，使用超声波和加热清洗，可节省清洗时间，提高清洗效率和质量。工艺简单、操作方便，满足环保要求。然而，使用超声波清洗机清洗蓝宝石衬底，是利用了超声波在液体中的空化作用、加速度作用及直进流作用对液体和污物直接、间接的作用，使污物层... [
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